Kus kasutatakse ränivahvlite poleerimispatju?

Poleeritud vahvlid on enim kasutatud toode ja muud ränivahvlid toodetakse poleeritud vahvlite baasil teisese töötlemise teel.
Poleeritud vahvlid on kõige elementaarsemad ja laialdasemalt kasutatavad räniplaadid. Poleeritud vahvleid saab otseselt kasutada pooljuhtseadmete valmistamiseks, mida kasutatakse laialdaselt mälukiipides ja toiteseadmetes, ning neid saab kasutada ka substraatmaterjalina epitaksiaalplaatide, SOI räniplaatide ja muud tüüpi räniplaatide jaoks.
Integraallülituste iseloomuliku joonelaiuse pideva kahanemise ja litograafia üha peenema täpsusega põhjustab räniplaadi äärmiselt väike ebatasasus integraallülituse graafika deformatsiooni ja nihkumist. Räniplaatide valmistamise tehnoloogia seisab silmitsi järjest kõrgemate nõuete ja väljakutsetega. Kiibi pinna osakeste suurus ja puhtus mõjutavad otseselt ka pooljuhttoodete saagist.
Seetõttu on poleerimisprotsess räniplaadi pinna tasasuse ja puhtuse parandamiseks väga oluline. Peamine põhimõte on saavutada pooljuht-räniplaadi pinna tasapinnalisus ja vähendada karedust, eemaldades töödeldud pinnalt jääkkahjustuse kihi.