Mis on õhukese kile sadestumise ühtlus?
Õhukese kile ühtlus viitab õhukese kile paksuse jaotuse konsistentsile kogu vahvli ulatuses. Hea ühtlus tähendab, et õhukese kile paksus on vahvli igas asendis väga lähedal.
Millised on õhukese kile ühtluse tüübid?
Üldiselt peetakse silmas järgmisi tüüpe:
● Vahvli sees ühtlus: Ühtlikkus ühe vahvli sees.
● Vahvli-vahvli ühtlus: Ühtlus erinevate vahvlite vahel.
● Partii-partii ühtsus: erinevate vahvlipartiide ühtlus.
Kuidas arvutatakse ühtlust?
Võttes näiteks vahvlisisese ühtluse, arvutatakse selle standardhälve järgmise valemi abil:
See valem arvutab ruutjuure iga andmepunkti ja andmete keskmise ruudu erinevuste keskmisest.
σ (standardhälve): tähistab andmete hajutatuse astet; mida suurem on standardhälve, seda suurem on dispersioon.
N: mõõdetud andmepunktide koguarv.
Ti: i-nda andmepunkti paksuse väärtus.
Tähendab: kõigi andmepunktide keskmine väärtus.
(ti-Mean)^2: ruudus erinevus iga andmepunkti ja keskmise vahel.
∑: Summeerimine.
Valemit on mõnevõrra raske mõista, nii et siin on näide:
Oletame, et meil on õhukese kihi paksuse andmepunktide kogum: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Esmalt arvutage nende 10 punkti keskmine: Keskmine=54.98.
●Seejärel arvutage iga paksuse ja keskmise ruudu vahe: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Summeerige need erinevused ruudus ja leidke keskmine: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Lõpuks arvutage standardhälve: σ=0.193.
